Математическое моделирование процесса течения газа в проточной части турбомолекулярного вакуумного насоса с использованием модели взаимодействия газа с поверхностью Черчиньяни-Лампис

В работе моделируется процесс течения газа в проточной части турбомолекулярного вакуумного насоса с использованием модели Черчиньяни-Лампис (ЧЛ), которая использовалась в качестве новых граничных условий при расчете вероятности перехода. При моделировании использовался метод пробной частицы (метод Монте-Карло). Произведен расчет вероятности перехода молекул через лопаточный канал в прямом и обратном направлениях, результирующей вероятности перехода, степени повышения давления.

1. Becker W. The turbomolecular pump, its design, operation and theory; calculation of the pumping speed for various gases and their dependence on the forepump. Vacuum, vol. 16, issue 11, 1966, pp, 625-632.

2. Sawada T. Performance of a Rotor with a Single Blade Row in the Transition Flow Regime. Bulletin of JSME, vol. 16, issue 96, 1973, pp. 993-1001.

3. Heo J.-S., Hwang Y.-K. DSMC calculations of blade rows of a turbomolecular pump in the molecular and transition flow regions, Vacuum, vol. 56, issue 2, 2000, pp. 133-142.

4. Bird G.A. Molecular gas dynamics and the direct simulation of gas flows, second edition. Clarendon Press, 1994, 484 p.

5. Demikhov K.E., Pyzhov I.I. A model for the gas-molecule transfer process by the intervane channels of the rotor of a turbomolecular vacuum pump. Chemical and Petroleum Engineering, vol. 13, issue 1, 1977, pp. 49-52.

6. Sharipov F. Application of the Cercignani-Lampis scattering kernel to calculations of rarefied gas flows. I. Plane flow between two parallel plates. European Journal of Mechanics - B/Fluids, vol. 21, issue 1, 2002, pp.113-123:

7. Фролова А.А. Численное сравнение обобщенной модели Максвелла и модели Черчиньяни–Лэмпис. Журнал вычислительной математики и математической физики, том 60, вып. 12, 2020 г., стрю 2162–2176 / Frolova A.A. Numerical comparison of the generalized Maxwell and Cercignani–Lampis models. Computational Mathematics and Mathematical Physics, vol. 60, issue 12, 2020, pp. 2094-2107.