Для цитирования:
КОРШУНОВ А.В., РЫЖОВА Д.И., БУЛАХ Д.А., ЗУБАРЕВА Е.Д., САЛАХОВ И.Д., ШВЕЦ И.И., КЛИМУШКИН Д.А. Решение задачи предобработки данных для изготовления фотошаблонов методом электронно-лучевой литографии. Труды Института системного программирования РАН. 2026;38(2):183-194. https://doi.org/10.15514/ISPRAS-2026-38(2)-12
For citation:
KORSHUNOV A.V., RYZHOVA D.I., BULAKH D.A., ZUBAREVA E.D., SALAKHOV I.D., SHVETS I.I., KLIMUSHKIN D.A. Solving the Task of the Data Preprocessing for Photomasks Manufacturing Using Electron-Beam Lithography. Proceedings of the Institute for System Programming of the RAS (Proceedings of ISP RAS). 2026;38(2):183-194. (In Russ.) https://doi.org/10.15514/ISPRAS-2026-38(2)-12
Послать статью по эл. почте 